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摘要
提出一种综合利用区域逼近法和柯西拟合法精确获取Ge28Sb12Se60薄膜和Ge28Sb12Se60薄膜透射光谱范围内任意波长处折射率与色散的多点柯西法,并从理论上证明了该方法的准确性.实验上,采用磁控溅射法制备了这两种Ge—Sb—Se薄膜,利用傅里叶红外光谱仪测得了透射光谱曲线,运用分段滤波的方法去除噪声,然后使用多点柯西法得到了这两种薄膜在500—2500 nm波段的折射率、色散、吸收系数和光学带隙.结果表明Ge28Sb12Se60薄膜的折射率和吸收系数大于Ge28Sb15Se65薄膜, Ge28Sb15Se65薄膜的光学带隙小于Ge28Sb12Se60薄膜.最后,利用拉曼光谱对两种薄膜的微观结构进行了表征,从原子之间的键合性质解释了这两种硫系薄膜不同光学性质的原因.
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