用于清洁度评价的颗粒计数显微镜测量差异分析

作者：王磊

来源：机械制造, 2018, 56(12): 119-120.

• 清洁度
• 颗粒计数显微镜
• 测量
• 分析

介绍了清洁度的定义与清洁度评价的主要方法,论述了用于清洁度评价的颗粒计数显微镜的原理。从设备自身准确度、像素分辨力差异、显微镜景深限制、阈值设定差异等方面分析了不同颗粒计数显微镜产生测量差异的原因,并提出测量差异的控制措施。