钙硼硅系微晶玻璃析晶性能的研究

作者：郭华伟; 张树人; 周晓华; 李波; 孙丽娟; 王晓东

来源：绝缘材料, 2007, (05): 55-59.

DOI：10.16790/j.cnki.1009-9239.im.2007.05.017

• 钙硼硅
• 微晶玻璃
• 水淬法
• 硅灰石 CaO-B2O3-SiO2
• glass-ceramics
• water-quenched method
• wollastonite

采用水淬法制备应用于LTCC基板材料的CaO-B2O3-SiO2系微晶玻璃。通过DTA和XRD综合分析,在充分析晶情况下此玻璃的主晶相是硅灰石(CaSiO3)、硼钙石(CaB2O4)以及石英(а-SiO2),并确定了3种晶相的析晶温度。在此基础上探讨了氧化硅和氧化钙含量对硅灰石晶相生成以及该系统微晶玻璃烧结性能的影响。得到了规律性的结果:增加钙含量能够有效诱使硅灰石析出,同时能够抑制石英相,降低烧结温度,使材料适用于基板材料的要求。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学; 材料科学与工程学院; 华东理工大学