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摘要
机器视觉系统通过对芯片外观进行图像检测处理能迅速判断出外观缺陷的位置及其类型，有效克服了传统人工目检方式造成芯片外观部分缺陷的漏检问题，提高了缺陷检测效率。本文利用基于机器视觉的芯片外观检测系统，针对红黄和蓝绿两种发光颜色不同的LED芯片产品在生产制造过程中出现的外观缺陷进行自动检测，实验表明机器视觉检测系统对于芯片的外观缺陷检测有很好的效果。通过输出数据和晶圆图的方式可以快速地判断出缺陷类型，利用加严卡控标准对TS0408产品同轴花斑缺陷检测的异常率从4.61%上升至25.69%,提升了21.08%。
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