“SE+PERC”单晶硅太阳电池发射极方阻均匀性提升工艺的研究

作者：高荣刚; 王丽婷^*; 周啸颖; 王守志; 韩林芝; 张书

来源：太阳能, 2023, (10): 45-54.

DOI：10.19911/j.1003-0417.tyn20220822.01

• 太阳电池
• 选择性发射极
• 钝化发射极背接触
• 管式扩散
• 气体流量
• 炉内压强
• 方阻均匀性
• 电性能

针对“SE+PERC”单晶硅太阳电池制备过程中，管式扩散炉扩散后硅片发射极方阻均匀性差的问题，在扩散工艺的“预沉积”步骤设计小氮气(N2)流量、氧气(O2)流量、炉内压强参数变化实验，研究小N2流量、O2流量和炉内压强变化对发射极方阻、方阻均匀性及太阳电池电性能的影响。研究结果表明：通过调整小N2流量、O2流量及扩散过程中的炉内压强可以有效提高发射极方阻均匀性，并提高太阳电池的光电转换效率。在小N2流量为1000 sccm、O2流量为600 sccm、炉内压强为80 kPa的工艺条件下可实现发射极的方阻均匀性最佳，均值为4.94%；此时“SE+PERC”单晶硅太阳电池的光电转换效率为23.11%。