摘要

多温区晶体生长炉是一种多输入多输出、强耦合的被控对象。根据多温区晶体生长炉内温场分布的要求,提出一种神经元网络PID多变量强耦合系统控制器,通过在线学习自动调节控制器参数,同时实现解耦和控制作用。仿真结果验证了本方法对多变量强耦合时变对象具有良好的解耦性能和自学习控制特性,达到了系统所要求的控制指标。

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