痕量爆炸物爆燃探测敏感元件的结构设计

作者：诸建彬; 齐永光; 孔德义; 汪小华

来源：微细加工技术, 2007, (02): 36-40.

• 痕量爆炸物
• 爆燃
• 硅梁 trace explosive
• deflagration
• silicon beam

通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构。有限元仿真结果表明,该硅梁升温迅速且温度分布均匀,能实现对纳克量级梯恩梯的检测。该项工作为下一步采用MEMS技术制作该硅梁敏感结构,进而研制新型便携式爆炸物探测器奠定了良好的基础。