小腔体元器件内部气氛检测修正因子适用性分析

作者：秦国林; 朱朝轩; 罗俊; 谭骁洪

来源：微电子学, 2020, 50(02): 287-296.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.190677

• 小腔体元器件
• 气氛检测
• 修正因子
• 适用性分析

对国军标548B-2005中提出的小腔体元器件内部水汽检测修正因子进行了适用性分析。提出修正系数λ,并引入修正因子表达式中。选择三种内腔体积的管子,封入一定含量的标准气体。在相同条件下进行了内部气氛检测及修正。通过与标准气体对比,获得了λ的值,并利用Matlab软件进行分析。结果表明,内部气氛实测值随内腔体积的减小而增大,并且更离散,呈单调递减。λ在0.001～0.01 cm3内腔体积范围内适用。但内腔体积进一步减小后,必会出现修正因子的适用性问题。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所