一种热壁LPTEOS设备自动供液系统

作者：李海燕; 唐绍根; 李文; 李志成; 崔伟

来源：微电子学, 2019, 49(02): 284-287.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.180462

• LPTEOS
• 立式炉
• 自动供液系统
• 稳定性

介绍了一种自主开发的自动供液系统。该系统适用于多台SVG7000热壁LPTEOS立式炉。详细介绍了系统的结构、原理及动作流程等。与传统的自动供液系统相比,该系统增加了多回路控制,优化了自动供液的时间,可同时控制多台设备,并保持每次运行程序前设备液态源液位一致。对使用该系统前后设备运行的数据进行对比,发现该自动供液系统将立式炉的稳定性提升了10%以上。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所