科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
针还原炉内多晶硅棒收割时常出现硅棒脆断问题,文章采用ANSYS有限元软件,对还原炉内多晶硅的冷却过程进行仿真,获得了冷却过程中多晶硅棒的温度场及应力场分布。并开展了氢气吹扫温度、时间和换热系数三个因素的参数化分析。结果表明,多晶硅棒在冷却过程中,温度场分布不均匀,中心温度与硅棒表面温度相差较大;应力在硅棒底部最大,出现较为显著的应力集中;增加吹扫温度、增加吹扫时间和降低流量,有利于降低或消除硅棒隐裂问题的发生。
-
单位华东理工大学; 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司
