集成光电传感器的研究

作者：黄伟; 周肇飞; 张涛

来源：激光技术, 2004, (06): 595-597.

• 光电传感器
• 传感器集成
• 粗糙度
• 微位移
• 微观轮廓

为适应现代加工技术的需要 ,研制了一种集成非接触式光电传感器 ,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ,实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理 ,其测量精度与单功能传感器相近。

• 单位
  四川大学