ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析

作者：钱莉荣; 杨保和

来源：Acta Physica Sinica, 2013, (11): 478-489.

• 声表面波
• 压电多层结构
• 有效介电常数
• 刚度矩阵法 surface acoustic wave
• piezoelectric multilayered structure
• effective permittivity
• stiffness matrix method

本文首先以刚度矩阵法为基础,给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式.然后以此为工具,分别计算了多晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石的声表面波特性,并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求,对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析.最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.

• 单位
  天津大学; 天津理工大学