碳酰氟研究的最新进展

作者：柴华; 李峰; 赵新堂; 王民涛

来源：低温与特气, 2018, 36(01): 4-9.

• 碳酰氟
• 制备技术
• 反应设备
• 纯化技术
• 应用研究
• 专利分析

碳酰氟是一种环保性能优良、最具潜力的半导体设备清洗和蚀刻材料。作为电子气体的新宠,其制备方法、反应设备、纯化技术、应用研究等被业界广泛关注。

• 单位
  中化近代环保化工（西安）有限公司