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摘要
以阳极氧化铝(AAO)为模板，利用磁控溅射法制备了Ni亚微米管阵列。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)等手段对沉积态以及经过400℃退火保温不同时间制备的Ni亚微米管阵列的物相结构及微观形貌进行了表征。结果表明：磁控溅射法制备的Ni亚微米管阵列具有多晶的面心立方结构。随着退火时间的增加，Ni亚微米管逐渐增多，Ni衍射峰强度逐渐降低。经400℃退火3h后，获得结构完整、高度有序的Ni亚微米管阵列，Ni亚微米管的大小均匀，外径约为400nm,内径约为200nm,长度约为500nm。
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单位化学化工学院; 中国核动力研究设计院; 成都理工大学; 乐山师范学院
