电子行业洁净室用过滤材料性能研究与评价

作者：李帅; 郭晓蓓; 余佳彬; 张振; 尹奕玲; 徐涛; 匡新波; 吴涛

来源：玻璃纤维, 2020, (02): 39-44.

DOI：10.13354/j.cnki.cn32-1129/tq.2020.02.008

• 洁净室
• 空气过滤器
• PTFE

对洁净室及空气过滤器的相关概念进行了简述,使用扫描电子显微镜、PMI孔径测试仪等手段,研究了PTFE复合空气滤纸的结构特点,通过分析结构与性能之间的关系,得到了过滤材料结构和性能的粗略对应关系,并能初步预测各滤料的过滤性能。