利用有限元分析方法(FEA)对金刚石对顶砧(DAC)中范德堡法测量极微小样品电阻率的误差进行数值模拟与分析,结果表明,对于极微小样品,电极与样品的接触面积是影响电阻率精确测量的重要因素,测量误差随接触面积的增大而增大,对半导体材料尤其明显.当样品厚度与直径的比值小于0.45,且电极和样品的接触面边长与样品直径的比值小于0.1时,测量电极是否满足点接触条件,范德堡法均能给出精确的测量结果.
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