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摘要
3ω法作为一种表征固体薄膜、液体、气体等材料热导率的通用性技术，由于其测量成本低、采集速度快和样品制备工艺相对简单等独特的优势，在功率器件、绿色能源、生物医学等领域具有良好的应用前景。综述了近年来3ω法表征热导率的研究进展。首先介绍了3ω法表征热导率的基本原理；然后归纳总结了3ω法在不同微纳材料尺度下表征热导率的进展和成果，分类说明了3ω法在生物医学领域和第三代宽禁带功率半导体材料领域的最新应用；最后对3ω法表征热导率的研究成果进行总结，指出了目前存在的问题，并进一步展望了未来的发展方向。
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