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摘要
对基于光谱共焦技术搭建的刮板细度计斜槽面深度测量装置的非接触测量数据进行处理算法研究。引入高斯滤波对整段测量数据进行滤波分析,再分左上平面、右上平面、斜槽底面三段进行高斯滤波,分离三个测量面的表面粗糙度信号及波纹度信号,解算出粗糙度值。对于高斯滤波中线,利用最小二乘法进行拟合,结果表明左右上平面的直线倾斜度一致,可拟合为一条直线。以再次拟合的直线为基准线,求得斜槽面扫描点至基准线的深度值,得到斜槽面深度标称值为90μm的示值误差为0.27～1.97μm。与电感测微仪接触测量所得数据进行比对,结果表明本文提出的刮板细度计非接触测量数据处理方法准确可靠。
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单位浙江省计量科学研究院
