强激光装置中玻璃疵病在线检测的光学系统设计

作者：董卫斌; 张敏; 达争尚; 陈良益; 董晓娜; 何俊华

来源：光子学报, 2010, 38(03): 685-688.

• 光学测量
• 玻璃瑕疵检测
• 光学设计
• 平场像

介绍了一种用于玻璃疵病在线检测的近摄工作距成像光学系统,其光组结构形式采用了光阑后置的准远心结构形式,主要光学参量为f′=14mm;在物像距为250mm约束条件下,物方视场达到90mm(对角线);F/number=3.56;光谱适应范围为400～800nm,对应的空间分辨率为100lp/mm时,调制传递函数大于0.29.

• 单位
  中国科学院西安光学精密机械研究所; 中国科学院研究生院