一种基于气液共面结构的超薄热二极管及其制备方法

作者:陈恭; 张仕伟; 汤勇; 钟桂生; 孙亚隆; 杨舒
来源:2021-06-07, 中国, ZL202110633764.4.

摘要

本发明公开一种基于气液共面结构的超薄热二极管及其制备方法,超薄热二极管包括上壳板、下壳板、条形支撑柱、主干道吸液芯、辅助吸液芯和蒸汽扩散结构,上壳板和下壳板的中部分别凹陷形成凹腔和凸缘,上壳板与下壳板密封连接,辅助吸液芯和蒸汽扩散结构均设于上壳板的凹腔内,蒸汽扩散结构为深宽小的微沟槽或者微柱阵列结构,条形支撑柱和主干道吸液芯均设于下壳板的凹腔内,条形支撑柱和主干道吸液芯均一端与下壳板连接,另一端与辅助吸液芯和蒸汽扩散结构抵接或连接,条形支撑柱位于主干道吸液芯的两侧,主干道吸液芯和多个条形支撑柱分隔凹腔形成多个蒸汽流动通道,主干道吸液芯内填充有液体工质,主干道吸液芯用以作为液体工质流动通道。