推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试

作者：都捷豪; 石云波^*; 李飞; 石亦琨; 曹慧亮; 赵锐

来源：微纳电子技术, 2022, 59(09): 929-935.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.09.014

• 微电子机械系统(MEMS)
• 加速度计
• 谐振器
• 推挽式
• 深硅-玻璃干法刻蚀(DDSOG)
• 自激振荡

针对推挽式微电子机械系统(MEMS)谐振加速度计的结构分析了其工作原理，进行了工艺上的加工，并对加工中可能出现的问题进行了优化。依据推挽式MEMS谐振加速度计的结构尺寸以及测量精度需求，设计了符合要求的测控电路系统，包括了基于自激振荡的闭环驱动电路和等精度测频的频率检测电路。最后完成样机整表测试，结果表明：推挽式MEMS谐振加速度计的两个谐振器谐振频率分别为21.443和21.455 kHz,品质因数分别为3 063和3 065。在±1g的范围内，标度因数和标度因数重复性分别为204.42 Hz/g和3.11×10-5,零加速度样机频差为-12.91 Hz/g,零偏和零偏稳定性为0.06g和0.008 01g。

• 单位
  中北大学; 上海卫星装备研究所