一种高精度的专用容栅传感器自动测试装置

作者：王玉珍; 薛炜; 张磊; 贺小军

来源：电气时代, 2021, (03): 64-79.

<正>设计了一种专用的容栅传感器自动测试装置,该测试装置由固定装置结构和联动装置结构组成。配置光栅尺、步进电动机等设备,从而实现高精度自动测量。该装置使用简单,操作方便,极大地提高生产检测效率,有效降低人工干扰。

• 单位
  北京航天试验技术研究所