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摘要
通过在PDMS膜中加入Na Cl微米颗粒形成孔结构,制得以多孔PDMS膜构建的柔性电容传感器,测试了不同Na Cl质量分数下的灵敏度,同时对系统耐久性与响应速率进行了分析。结果表明,纯PDMS薄膜形成了较为光滑的表面,加入Na Cl颗粒的薄膜形成了大量的孔隙结构。Na Cl颗粒质量分数为20%的多孔传感器的灵敏度为0. 68 k Pa-1,相对于无孔PDMS薄膜传感器得到显著改善。当压力增大时,灵敏度减小。对颗粒进行更长时间研磨后得到更小粒径,获得更高的薄膜传感器灵敏度。孔结构能够促进薄膜传感器对外界压力形成更明显的数值反馈。当对传感器施加5. 0 Pa压力后,传感器实现了4 s以内的响应时间,可满足快速反应的要求。压力施加与去除的迟滞变化曲线基本重合,传感器只存在很低的迟滞。传感器弯曲前后灵敏度基本一致。
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单位郑州大学; 河南建筑职业技术学院
