炭/炭复合材料在太阳能单晶硅长晶炉中的应用

作者：王瑛; 姜涛; 唐波; 吴嘉栋; 王沁; 张崇印; 王二轲; 相利学; 吴新锋^*; 李文戈

来源：炭素技术, 2022, 41(06): 12-17.

DOI：10.14078/j.cnki.1001-3741.2022.06.004

• 炭/炭复合材料
• 单晶硅生长炉
• 保温材料

太阳能单晶硅炉需要为单晶硅晶体生长提供稳定的高温热场环境（约1 500℃）,既需要耐高温保温材料保证热场的温度梯度,又需要耐高温结构材料支撑长晶坩埚并均匀传输热量。炭/炭复合材料本身具有优异的耐高温性能(真空或惰性气体条件>2 800℃),同时低密度炭/炭复合材料具有优异的高温保温性能，高密度炭/炭复合材料具有优异的力学性能和传热性能。立足太阳能单晶硅长晶炉的产业应用需求，对炭/炭复合材料的性能、应用、分类和制备方法及表面处理进行了系统性介绍，希望对大尺寸晶体生长炉用炭/炭复合材料的制备和应用提供一些借鉴。

• 单位
  上海航天设备制造总厂; 上海海事大学