ITO薄膜方块电阻测试方法的探讨

作者：关自强

来源：真空, 2014, 51(03): 44-48.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2014.03.033

• ITO薄膜
• 方块电阻
• 双电测四探针法
• 标准样片

针对ITO薄膜方块电阻测试方法,文章探讨了常规的四探针法与双电测四探针法在实际生产中的适应性、准确性。根据玻璃基板上的ITO薄膜和聚脂薄膜上的ITO薄膜的结构、物理特性不同特点,测试方块电阻时应注意的细节作出了必要的阐述。并对生产中有关方块电阻测试的注意事项作出详细说明。

• 单位
  广州半导体材料研究所