非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

作者：黑立富; 徐俊波; 陈良贤; 李成明; 吕反修

来源：材料工程, 2012, (07): 92-96.

• 纳米多层膜
• 力学性能
• 调制周期 nanomultilayers
• mechanical property
• modulation period

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa。利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征。

• 单位
  北京科技大学