无氢气氛下铁对金刚石的刻蚀

作者：邵增明; 苏彦宾^*; 张存升; 武瑞阁

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(05): 13-15.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0003

• 金刚石刻蚀
• Fe–C
• 各向异性

用铁粉在无流动氢气气氛下催化刻蚀金刚石。用扫描电子显微镜(SEM)、激光探针分析仪以及X射线衍射仪表征其表面形貌、刻蚀坑深度和刻蚀后金刚石的结构和成分,同时对金刚石的刻蚀行为进行分析。结果表明:在无氢气气氛下,铁粉通过其催化作用刻蚀金刚石晶体;刻蚀主要在金刚石的{111}、{100}面进行,且{100}面的刻蚀速率大于{111}面的,其刻蚀机制是通过铁–金刚石间形成Fe–C相实现的;且刻蚀受铁相含量影响,刻蚀后金刚石结构不变。