超临界CO_2清洗在精微制造领域中研究与应用

作者：钱海峰; 雷卫宁; 刘维桥; 丁立红; 王创业

来源：机械设计与制造工程, 2013, (12): 57-61.

• 超临界
• CO2
• 清洗
• 精微制造 Supercritical
• CO2
• Cleaning
• Micro Manufacture

阐述了超临界CO2流体特性,超临界表面清洗的原理、工艺以及在清洗过程中的独到优势,概述了超临界CO2流体在半导体微电子、精密机械以及其他领域清洗行业中的研究进展与应用,并对超临界清洗技术未来发展趋势进行了展望。

• 单位
  江苏理工学院