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摘要
本发明公开一种基于几何相位超表面的涡旋光空间调制器,包括呈阵列排布的M×M个超表面像素单元,每个超表面像素单元可独立地完成涡旋子光束的生成与关闭,进而实现阵列化的螺旋相位调控或涡旋子光束阵列的空间调控。器件工作在反射模式,每一个子单元涡旋光超表面发生器采用金属-介质-金属三层架构,即顶层为实现几何相位调控的纳米天线,中间层为相变介质与SiO-2匹配层,底层为金属层；通过基于TFT驱动阵列设计的电控激励加载,当相变介质层为非晶态时,入射电磁波以理想的阻抗匹配工作在特定的谐振频率,交叉极化效率大,涡旋光产生效率大；从非晶态切换为晶态时,谐振偏移原来的工作波段,能量转化率小,螺旋相位关闭。
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