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摘要
本实用新型公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头,其特征是：采用石英音叉作为微力传感器,石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器,另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直,在X、Y方向上的振动方向与试样表面平行,在靠近试样所在一侧的音叉臂上,固定设置一体式微测杆测球,以锁相环路输出的正弦交流信号施加于压电驱动器作为励振信号,通过压电传感器检测音叉谐振信号。当微小的三维外力导致测头的谐振频率发生变化时,谐振石英音叉测头的谐振频率随之发生变化,通过检测石英音叉的谐振频率的变化,实现三维谐振触发测头的三维谐振触发定位。
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