超精密加工技术是现代装备制造业中不可或缺的重要基础,也是现代制造科学以及机械加工的重要发展方向。本文大致介绍了超精密加工,大概介绍了超精密加工技术及设备的国内外发展,并且总结了目前国内超精密加工存在的问题以及国内超精密加工未来可能的发展方向。