压电陶瓷驱动的铰链放大式微动工作台研究

作者：李新弘; 章海军

来源：光学仪器, 2004, (03): 64-67.

• 压电陶瓷
• 铰链机构
• 微动工作台
• 原子力显微镜 piezo element
• hinge mechanism
• micro positioning stage
• AFM

研制了一种新的压电陶瓷驱动的铰链放大式微动工作台。介绍了该微动工作台的基本原理,利用原子力显微镜技术测定了压电陶瓷与铰链放大臂的微位移和微振动,确定了铰链机构的放大比及微动工作台的时间响应频率。结果表明,该微动工作台能以0.5μm～5μm的步长实现平稳的微位移,最大速度达到250μm/s。