热敏BARC(Bottom Anti-reflective Coating)是一种新型BARC光刻胶，不仅可以作为抗反射层，具有预防驻波效应的作用，还可以与其他PR或PI光刻胶配合进行显影工艺。通过实验探究热敏BARC光刻胶的显影工艺时长影响因素，尤其是匀胶后热盘烘烤条件变化，对其图形化工艺显影过程消耗时长的影响。实验结果显示：软烘热盘的工艺烘烤温度变化、软烘热盘的腔体中的气流场变化都可以影响热敏BARC光刻胶的显影工艺消耗时间长短。
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