基于数字孪生技术的晶圆级测试平台

作者：李斌; 胡晓霞; 吕磊; 王进瑞

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(05): 32-46.

• 数字孪生
• 半导体
• 晶圆级测试

从数字孪生技术以及晶圆级测试现状出发，根据数字孪生技术需求，详细介绍了数字化晶圆级测试系统构建内容，进行了系统搭建，并对数字孪生技术在本领域后续发展方向进行了展望。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所