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摘要
采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测。通过对该器件结构参数的优化设计和幅频特性分析表明,所制备的器件具有灵敏度高、线性度好、抗电磁干扰、工艺简单、成本低等优点。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院; 集成光电子学国家重点实验室; 吉林大学
