海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制

作者：孙清; 魏海波; 池世春; 栾居里

来源：真空, 2006, (05): 53-55.

• 变频调速
• 张力控制
• 矢量控制
• 海绵卷绕系统 speed regulation
• frequency converter
• tension control
• vector control
• sponge coiling/decoiling system

根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院沈阳自动化研究所; 沈阳药科大学