低频声表面波器件的设计与制作

作者：张君衡; 于军; 彭刚; 许四科

来源：华中科技大学学报(自然科学版)科技大学, 2005, 33(5): 85-87.

DOI：10.3321/j.issn:1671-4512.2005.05.028

• 声表面波滤波器
• 声表面波
• 数字傅里叶变换

采用数字傅里叶变换技术设计并制作了一个中心频率为44 MHz,1 dB带宽为8 MHz,带外抑制大于60 dB,插损小于28 dB的带通滤波器.发射和接收叉指换能器均采用数字傅里叶变换技术.整个声表面波滤波器的制作工艺流程是:基片抛光打磨、清洗、镀膜、匀胶、光刻、腐蚀和显影.实验结果分析表明此带通滤波器满足各项指标.

• 单位
  华中科技大学