3英寸氧化镁基底上沉积DyBCO高温超导薄膜

作者：孙延东; 王朗; 马丽媛; 季来运^*

来源：低温与超导, 2021, 49(05): 41-53.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2021.05.008

• 多源共蒸发
• 3英寸氧化镁
• 高温超导薄膜
• DyBCO

采用多源共蒸发技术在3英寸氧化镁基底上沉积了具有优异性能的DyBCO高温超导薄膜。用台阶仪对薄膜的厚度进行测量,结果显示超导薄膜厚度在650 nm左右。在77 K的液氮中,对薄膜的临界电流密度Jc进行测量,薄膜表面的临界电流密度Jc都大于2.4 MA/cm2,且均匀性良好。

• 单位
  天津师范大学; 天津海泰超导电子有限公司