多晶硅铸锭原料中重掺料的影响

作者：唐中华; 何鹏; 屠晨坤; 陈声斌

来源：河南科技, 2017, (17): 143-144.

• 多晶硅铸锭
• 重掺
• 电阻率

多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料,而这些硅料中如果存在重掺料,会降低硅锭预期电阻率,影响硅锭品质。如果将重掺料检测出并去除,便能够将多晶硅锭电阻率按生产要求控制在13Ω·cm,并使多晶硅锭电阻率符合预定规律。

• 单位
  南京医科大学康达学院; 南京三乐集团有限公司