借助光刻成像仿真软件的μDBO穿线套刻标记

作者：陈天元; 周钰颖; 高安^*

来源：清华大学学报, 2023, 63(12): 2057-2075.

DOI：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2023.25.034

• 计算光刻
• 光刻成像仿真软件
• 微型衍射套刻标记
• 穿线套刻

在光刻机的对准、曝光和量测等过程中，存在量程范围小，测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时，会受到多种误差的影响，比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题，特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记，通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究，提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具，两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象，验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外，该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化，输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。