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摘要
通过对比各类隔离材料进行防粘模试验,发现采用尼龙板制作隔离层是优选方案;通过对密封方式的设计,发现采用间隙外密封设计,可有效防止漏粉。这种结构的可调模具,加工难度小,一般的机械加工厂均能制造,可以实现模具当地生产,从而缩短模具加工周期,减少ITO靶材生产的前准备时间。
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通过对比各类隔离材料进行防粘模试验,发现采用尼龙板制作隔离层是优选方案;通过对密封方式的设计,发现采用间隙外密封设计,可有效防止漏粉。这种结构的可调模具,加工难度小,一般的机械加工厂均能制造,可以实现模具当地生产,从而缩短模具加工周期,减少ITO靶材生产的前准备时间。
