保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

作者:林涛; 孙艳辉; 段春艳; 章大钧
来源:材料科学与工程学报, 2016, 34(04): 643-672.
DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2016.04.027

摘要

本文采用#3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭。实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验。采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少。定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集。用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少。

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