亚微米液体颗粒计数器的关键技术研究及应用

作者：梁凤飞; 孙吉勇; 陈建; 沈玮栋; 吴晨炜

来源：中国仪器仪表, 2023, (02): 63-66.

• 亚微米液体颗粒计数器
• 光散射
• 半导体激光器
• 雪崩光电二极管

亚微米液体颗粒计数器是一种应用于半导体、电子等领域进行超纯水、超净液体的颗粒污染程度检测的主要仪器。基于光散射原理，采用半导体激光器作为光源，以雪崩光电二极管作为光电转换元件，以比较器实现颗粒物粒径的甄别，以计数芯片实现单个粒径颗粒的统计，以嵌入式芯片实现不同粒径颗粒的统计，开发了一种可实现检测液体中0.2μm粒径的不溶性颗粒计数器，并通过测试纯水、光刻胶等溶剂与进口检测仪器相比误差<1%，达到替代进口的目的，实现高端颗粒计数仪器的国产化。