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摘要
采用化学气相沉积法在石英衬底上沉积出锌掺杂的GaN纳米线。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)和拉曼光谱(Raman)对锌掺杂GaN纳米线进行了结构和形貌的表征。结果表明:锌掺杂后GaN纳米线的XRD图谱向低角度方向移动,衍射峰更加明显。锌掺杂Ga N纳米线存在一层包覆结构,纳米线的直径范围约为300~500 nm,包覆层的厚度在150~200 nm。锌掺杂GaN纳米线的Raman光谱在E2(high)和A1(LO)出现了微小的红移。最后对包覆结构的可能形成机理进行了探讨。
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