直流偏置电压是电容式微机械超声换能器的一个重要参数。以实验室设计制造的电容式微机械超声换能器为基础，研究不同的直流偏置电压对电容式微机械超声换能器的振动位移、振动速度、发射灵敏度、发射声压、接收灵敏度和中心频率的影响。结果表明：直流偏置电压值对器件收发性能有很大的影响，应根据使用目的不同选择合适的直流偏置电压。
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