Ca-B-Si玻璃掺杂对SrTiO3基半导体陶瓷材料性能的影响

作者：李欣源; 钟朝位^*; 唐斌

来源：电子元件与材料, 2019, 38(05): 14-18.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.05.003

• SrTiO3
• CaO-B2O3-SiO2玻璃
• 掺杂
• 温度稳定性
• 介电性能
• 固相反应法

采用二次烧结法制备了Ca-B-Si(CBS)玻璃掺杂的SrTiO3基晶界层型陶瓷电容器材料。研究了CBS玻璃作为掺杂剂对SrTiO3基半导体陶瓷电容器微观结构、介电性能及温度稳定性的影响。结果表明,适量的CBS掺杂能明显改善材料的电容温度稳定性,提高相对介电常数(εr),降低介电损耗(tanδ)。当CBS质量分数为0.4%时,可获得最佳的电学性能:εr为19418,tanδ为0.007,在-55～150℃电容温度变化率(ΔC·C-1)小于10%,绝缘电阻率大于2.1×1011Ω·cm。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学