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摘要
研究了基于钛TES的超导单光子探测器的特性，器件尺寸范围为5μm×5μm到20μm×20μm，集成光学腔体后在1 550 nm波长实测的系统探测效率最高达到72%，最佳能量分辨率为0.26 eV。在此基础上，采用二流体模型提取了基于钛TES的超导单光子探测器的特性参数（包括温度灵敏度、电流灵敏度、热容等），并模拟计算了基于钛TES的超导单光子探测器的响应时间和能量分辨率，与实验结果完全吻合。结果表明优化探测器尺寸和临界温度，可以同时达到高探测效率和高能量分辨率，实现光子数可分辨的高性能单光子探测器。
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