椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性

作者：王者; 肖峻; 马孜

来源：材料导报, 2015, S1: 93-97.

• 薄膜
• 光学常量
• 椭偏法
• ZnS
• 薄膜厚度

采用电子束蒸发法在K9玻璃衬底上分别制备了设计厚度为115nm、467nm、652nm的硫化锌薄膜,分别记为A、B、C;采用椭偏法研究薄膜的光学特性。对薄膜A、B、C进行Brendel振子拟合,根据ZnS薄膜特性及成膜特点,建立模型"基底(K9玻璃)/有效介质层(50%K9玻璃及50%ZnS)/ZnS薄膜/表面粗糙层(50%ZnS玻璃及50%空气)/空气",得到了ZnS薄膜的光学常数曲线和厚度。结果表明,用Brendel振子建立的上述模型对实验数据进行拟合,得到了较小的评价函数MSE;硫化锌薄膜在300012500nm波长范围内折射率n和消光系数k都随波长的增加而减小,消光系数k在长波趋近于0。ZnS薄膜的测量厚度与设计厚度接近。该研究结果对制备和测量高质量的ZnS薄膜有参考意义。

• 单位
  西南技术物理研究所; 西南民族大学