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摘要
本发明公开了一种具有自调零功能的高精度加速度计,由拾振单元和感测单元构成；拾振单元由至少两片铍铜簧片利用中心固定板和外圈压环成串设置为竖向弹性支承,并利用外圈压环固定安装在环状顶盖上,在底部铍铜簧片的下表面中心位置上固定设置质量块,在质量块的底面设置第一平面反射镜；感测单元中激光器的出射光依次经由第二平面反射镜和第一平面反射镜的反射后,入射至CMOS传感器的感光面；以CMOS传感器的输出信号为加速度计的检测输出信号。本发明能够实现高灵敏度的低频振动检测,具有装调方便,成本低,适应性强等优势。
- 单位
