柔性二硫化钼光电晶体管及其制备方法

作者：林珍华; 常晶晶; 张冰娟; 苏杰; 郝跃

来源：2018-10-11, 中国, ZL201811181410.5.

本发明公开了一种柔性二硫化钼光电晶体管及其制备方法,主要解决现有柔性晶体管制作工艺难度较高及性能较差的问题。该晶体管结构自下而上包括栅极(1),介电层(2),半导体层(3)；该半导体层(3)的两端设有分别与介电层(2)连接的源电极(4)和漏电极(5),该栅极(1)采用表面蒸有ITO透明电极层的柔性透明材料聚萘二甲酸乙二醇酯PEN,该半导体层(3)掺杂有5％-15％的氢氧化钾水溶液。本发明通过运用衬底转移技术将器件从硅衬底上转移到PEN衬底上,并且在衬底转移过程中对二硫化钼材料进行掺杂以降低其接触电阻,简化了制作工艺,降低了成本,提高了器件的性能和柔性,可用于电子、通信和医疗设备。

• 单位
  西安电子科技大学